استفاده از فتورزيست در روش Lift-Off برای ساخت موجبر نوری بر روی بستر ليتيوم نايوبيت به کمک نفوذ فلز


چکيده-در ساليان اخير تحول سريع در مخابرات نوري پرسرعت عامل مهمي براي توسعه و ساخت افزاره‌هاي نوري سريع خصوصا از نوع الكترواپتيكي بوده است. در اين مقاله چگونگي انجام فرايند ساخت موجبر نوري برروي زيرلايه ليتيوم نايوبيت آورده شده است. در اين فرايند لايه فلزي تيتانيوم به كمك دستگاه تبخير در خلا لايه نشاني شده و بوسيله كوره ساخته شده به درون زيرلايه نفوز داده مي‌شود. اين فرايند براي اولين بار در ايران، توسط گروه مدولاتور نوري مركز تخقيقات مخابرات ايران انجام مي‌شود. مقايسه تصاوير لايه الگودهي شده تيتانيوم با كمك دو روش Life-Off و روش شيميايي در مقاله نشان از كارايي بهتر روش Life-Off دارد. مقايسه تصاوير نمونه قبل و بعد از فرايند نفوذ، نشان از خراشان شدن سطح زيرلايه دارد. نمايه سطحي نيز رويداد اين پديده را در سطح زيرلايه تاييد مي‌نمايد. در نهايت تصوير ميكروسكوپ الكتروني از نمونه آورده شده است.

كلمات كليدي-موجبر نوري، ليتيوم نايوبيت، كوره نفوذ، فتورزيست،Life-Off .

ا. گودرزي، نصرت ا.. گرانپايه, مرتضی مظفری, الهام عدالتی و شمس الدين مهاجرزاده،
دوازدهين كنفرانس مهندسي برق(ICEE 2004)،‌ مشهد، ايران، 1383.


دیدگاهتان را بنویسید